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首頁 > 技術(shù)文章
  • 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的原理和產(chǎn)品特性介紹
    2019-8-27 1182
    光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的特點(diǎn)是非接觸,非破壞方式測(cè)量,無需樣品的前處理,軟件支持Windows操作系統(tǒng)等。光學(xué)薄膜測(cè)厚儀是使用可視光測(cè)量晶圓、玻璃等基材上形成的氧化膜,氮化膜,光致抗蝕劑等非金屬薄膜厚度的儀器。光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量原理如下:在測(cè)量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光,這時(shí)光的一部分在膜的表面反射,另一部分透進(jìn)薄膜,然后在膜與底層(晶圓或玻璃)之間的界面反射。這時(shí)薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。光學(xué)薄膜測(cè)厚儀就是利用這種干涉現(xiàn)象來測(cè)量薄膜厚度...

  • 半導(dǎo)體技術(shù)中的薄膜沉積
    2019-6-20 3603
    薄膜的沉積,是一連串涉及原子的吸附、吸附原子在表面的擴(kuò)散及在適當(dāng)?shù)奈恢孟戮劢Y(jié),以漸漸形成薄膜并成長(zhǎng)的過程。薄膜的生成質(zhì)量以及膜厚檢測(cè)在半導(dǎo)體制造中有很高的重要性。半導(dǎo)體技術(shù)中薄膜的沉積方式有以下分類:化學(xué)氣相沉積(ChemicalVaporDeposition)——CVD反應(yīng)氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并且生成物沉積在晶片表面。物理氣相沉積(PhysicalVaporDeposition)——PVD蒸鍍(Evaporation)利用被蒸鍍物在高溫(近熔點(diǎn))時(shí),具備飽和蒸汽壓,來沉積薄膜...

  • On-line在線薄膜厚度檢測(cè)方案
    2019-6-20 2094
    簡(jiǎn)介優(yōu)尼康科技有限公司(UNICORNTECHNOLOGYCO.,LTD.)成立于2012年11月,注冊(cè)于中國(guó)香港,是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測(cè)量設(shè)備。提供的一對(duì)一*,技術(shù)支持,備件管理和咨詢服務(wù)。Filmetrics方案推廣商,具備方案定制,改造升級(jí),本土化維護(hù),與備件庫的方案提供商,是Filmetrics中國(guó)區(qū)售后服務(wù)中心什么是Parylene?聚對(duì)二甲(Poly-para-x...

  • 新應(yīng)用-種子包衣膜測(cè)量 F3膜厚測(cè)量?jī)x
    2017-6-7 1536
    所謂種子包衣是采取機(jī)械或手工方法,按一定比例將含有殺蟲劑、殺菌劑、復(fù)合肥料、微量元素、植物生長(zhǎng)調(diào)節(jié)劑、緩釋劑和成膜劑等多種成分的種衣劑均勻包覆在種子表面,形成一層光滑、牢固的藥膜。隨著種子的萌動(dòng)、發(fā)芽、出苗和生長(zhǎng),包衣中的有效成分逐漸被植株根系吸收并傳導(dǎo)到幼苗植株各部位,使種子及幼苗對(duì)種子帶菌、土壤帶菌及地下、地上害蟲起到防治作用。藥膜中的微肥可在底肥借力之前充分發(fā)揮效力。因此,包衣種子苗期生長(zhǎng)旺盛,葉色濃綠,根系發(fā)達(dá),植株健壯,從而實(shí)現(xiàn)增產(chǎn)增收的目的。針對(duì)包衣膜厚的厚度管控...

  • 消磁器工作原理和性能測(cè)評(píng)
    2016-8-9 8060
    電鏡應(yīng)用環(huán)境改善方案!FEI(上海)張毅張承青關(guān)鍵詞:電磁干擾、消磁器、消磁器工作原理和性能測(cè)評(píng)目錄一.環(huán)境電磁干擾二.低頻電磁干擾的改善途徑三.主動(dòng)式消磁器的基本工作原理及適用范圍四.主動(dòng)式消磁器性能改進(jìn)(雙線圈、雙探測(cè)器)五.評(píng)測(cè)主動(dòng)式消磁器性能的主要指標(biāo)六.主動(dòng)式消磁器性能測(cè)評(píng)一.環(huán)境電磁干擾自從人類發(fā)現(xiàn)了電磁應(yīng)用以來,電磁能這種不能直接觀察到的物理現(xiàn)象正在日益深入我們生活的方方面面。電磁力給我們帶來許多便利,大大改善人們的工作和生活環(huán)境,但是在造福人類的同時(shí)也帶來許多...

  • 震動(dòng)隔離系統(tǒng)-防振臺(tái)防震臺(tái)的使用
    2016-8-9 2269
    電鏡和其它精密儀器對(duì)環(huán)境震動(dòng)要求很高,例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動(dòng)(0~30Hz)<6微米;30Hz以上的高頻震動(dòng)<12微米.。20Hz以下的低頻震動(dòng),對(duì)電鏡的干擾影響zui大。如果超過該指標(biāo),電鏡在高倍率(1萬倍以上)照相,就難于得到理想圖像。普通掃描電子顯微鏡(SEM)當(dāng)安置到樓房高層(2層以上),或置于有強(qiáng)震動(dòng)的場(chǎng)地時(shí)(例如附近地下有地鐵,),高倍率3萬倍以上觀察、照相就無法進(jìn)行。而必須使用震動(dòng)隔離系統(tǒng)-防振臺(tái)。場(chǎng)發(fā)射電鏡(FEM)要在幾十萬倍觀察和照相,對(duì)震動(dòng)...

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