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On-line在線薄膜厚度檢測(cè)方案

2019-06-20 [2156]

簡(jiǎn)         介

優(yōu)尼康科技有限公司(UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.)成立于2012年11月,注冊(cè)于中國(guó)香港, 是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。 
        
翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測(cè)量設(shè)備。提供的一對(duì)一*,技術(shù)支持,備件管理和咨詢服務(wù)。

Filmetrics方案推廣商,具備方案定制,改造升級(jí),本土化維護(hù),與備件庫(kù)的方案提供商,是Filmetrics 中國(guó)區(qū)售后服務(wù)中心

 

                                                           

 

 

膜厚測(cè)量?jī)x|環(huán)境改善|Filmetrics

 

 

什么是Parylene ?

聚對(duì)二甲(Poly-para- xylylene;簡(jiǎn)稱( parylene)是一種高分子聚合物,在中國(guó)又稱為"派瑞林”
Parylene是六十年代中期美國(guó) Union Carbide Co.開發(fā)應(yīng)用的一種新型敷形涂 層材料根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同, Parylene可分為N型、C型、D型、HT型等多種類型。

 

常用派瑞林材料基本特性

(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉強(qiáng)30%,耐電壓低于N粉, C粉適用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐電壓高防水, 防腐性能低于C粉, 適用于微型電機(jī)矽鋼片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐電壓都比C-N粉各項(xiàng)性能提高了15%左右, 是在C-N粉基礎(chǔ)上提升起來(lái)的,己經(jīng)代替了C-N粉生產(chǎn)用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外線強(qiáng)應(yīng)用于戶外產(chǎn)品, 材料成本偏高客戶暫時(shí)很難接受單價(jià).

 

什么是Parylene C?

 

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Parylene C 是系列中第二個(gè)具有商業(yè)價(jià)值的成員。它由相同的單體制成,只是將其中一個(gè)芳香烴氫原子用一個(gè)氯原子所取代了。

綜合了優(yōu)良的介電性能和物理機(jī)械性能,對(duì)潮濕和腐蝕性氣體有低的滲透性。

可以提供真正的無(wú)針孔覆形隔離。滿足美軍標(biāo)MIL-46058C,是涂敷重要電路板的材料。符合ISO-10993生物試驗(yàn)要求。符合UDP第六類塑料的生物試驗(yàn)要求.

 

Parylene 特性

Parylene沈積可以經(jīng)由活潑的單體( monomer)氣體,聚合于物體表面上,而不同于一般常見(jiàn)經(jīng)由液體涂層的方法制備。

其活性分子在被涂裝的對(duì)象表面生成*披覆的聚合物薄膜,可涂裝到任何形狀的表面面,且不產(chǎn)生死角,包括括尖銳的棱角、隙縫內(nèi)部與極細(xì)微的針孔中,

膜厚可一致性的被覆在產(chǎn)品的任何部位,薄膜厚度由1um-50um,是極薄的涂裝之一。

 

Parylene 行業(yè)應(yīng)用

 

 

圖片關(guān)鍵詞

 

 

圖片關(guān)鍵詞

 

 

Parylene制程工藝介紹

 

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Parylene采用化學(xué)氣相沉積工藝(CVD)。

配積過(guò)程分為三步驟:
1.真空條件下, 以120℃將固態(tài)粉末狀的對(duì)二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加熱汽化;

2.以650℃ 將氣態(tài)的對(duì)二甲苯的二聚物 ,裂解為對(duì)二甲苯 (para-xylylene) 的 活性單體(monomer);

3.氣態(tài)活性單體在室溫下沉積并聚合成聚對(duì)二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。

 

Parylene 制程設(shè)備生產(chǎn)管控三要素

 

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Parylene 產(chǎn)品不良的3種特征

 

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Parylene 

 

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日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收購(gòu)美國(guó)特種涂層公司Specialty Coating Systems(SCS)。

兩家同為行業(yè),吉世科在聚對(duì)二甲苯市場(chǎng)已深耕18年,在材料科學(xué)與研發(fā)上擁有很深的背景,而SCS與聚對(duì)二甲苯的誕生頗有淵源,

是聚對(duì)二甲苯市場(chǎng)的銷售商。

 

 

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生產(chǎn)過(guò)程中容易出現(xiàn)的問(wèn)題及監(jiān)管

問(wèn)題: 

1 .鍍膜過(guò)程材料分解純度不夠 (缸體內(nèi)壓力控制 ,到時(shí)厚度均勻性差
2. 材料在缸體停留時(shí)間過(guò)長(zhǎng) ,導(dǎo)致產(chǎn)品發(fā)白
3. 產(chǎn)品缸內(nèi)擺涉及原材料氣相流動(dòng),也會(huì)對(duì)產(chǎn)品的厚度均勻性產(chǎn)生影響 
4. 生產(chǎn)過(guò)程中堵缸,產(chǎn)品膜厚不增長(zhǎng) 
5. 擋風(fēng)板結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)很重要,不合理會(huì)殘留材料會(huì)導(dǎo)致送料管堵塞

溫度,壓力管控 、厚度在線監(jiān)控

產(chǎn)品發(fā)白,發(fā)藍(lán),產(chǎn)品附著力差、膜厚不均勻.

 

Filmetrics –在線測(cè)量的優(yōu)勢(shì)

 快、準(zhǔn)、省

無(wú)損,非接觸式測(cè)量、預(yù)警

1.生產(chǎn)產(chǎn)品過(guò)程監(jiān)控—實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù),提高產(chǎn)品品質(zhì)
2.提高生產(chǎn)效率— 設(shè)定生產(chǎn)指標(biāo) ,報(bào)警提示
3.節(jié)省材料成本— 縮小產(chǎn)品指標(biāo)公差,材料節(jié)省可見(jiàn)
4.減少人工成本— 監(jiān)控室直接在線數(shù)據(jù)監(jiān)管
5.堵缸、停缸監(jiān)控— 節(jié)省材料,與人工挽救不良率
6.給產(chǎn)品設(shè)定的厚度范圍 
7.方便不同產(chǎn)品工藝的調(diào)整

8.經(jīng)過(guò)客戶實(shí)際生產(chǎn)測(cè)算,7個(gè)缸體工作,一年節(jié)省15%~50% 材料與人工支出,良品率 的提升由56% 提升到 86~95%.

 

Filmetrics –生產(chǎn)過(guò)程在線監(jiān)控與測(cè)量的生產(chǎn)線布置示意圖

 

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Unicorn–產(chǎn)品全檢在線測(cè)量方案

 

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F32 --測(cè)量原理

 

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Filmetrics –在線測(cè)量產(chǎn)品介紹

 快、準(zhǔn)、省

 

圖片關(guān)鍵詞

 

 

圖片關(guān)鍵詞

 

 

離線式手動(dòng)檢測(cè)

 

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