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HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀

簡要描述:HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀是新型的全自動薄膜測量分析工具。采用工業(yè)化設計,操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

  • 產(chǎn)品型號:Auto SE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2023-08-22
  • 訪  問  量:2083
產(chǎn)品詳情

HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀的主要特點


1. 液晶調(diào)制技術,無機械轉(zhuǎn)動部件,重復性,信噪比高


2. 技術成像系技術,所有樣品均可成像,對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數(shù)據(jù)分析更簡單.


3. 反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測試


4. 全自動集成度高,安裝維護簡便


5. 一鍵式操作軟件,快速簡單


6. 自動MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性




HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀的技術參數(shù)


1. 光譜范圍:450-1000 nm


2. 多種微光斑自動選擇


3. 光斑可視技術,可觀測任何樣品表面


4. 自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm


5. 70度角入射


6. CCD探測器




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