X射線熒光分析是確定物質(zhì)中微量元素的種類和含量的一種方法，是利用原級X射線光子或其它微觀粒子激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生次級的特征X射線(X光熒光)而進(jìn)行物質(zhì)成分分析和化學(xué)態(tài)研究。

　　高性能X射線熒光分析儀基本原理：

　　當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)生碰撞時(shí)，驅(qū)逐一個(gè)內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個(gè)空穴，使整個(gè)原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，激發(fā)態(tài)原子壽命約為10-12-10-14s，然后自發(fā)地由能量高的狀態(tài)躍遷到能量低的狀態(tài)。這個(gè)過程稱為馳豫過程。馳豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當(dāng)較外層的電子躍遷到空穴時(shí)，所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個(gè)次級光電子，此稱為俄歇效應(yīng)，亦稱次級光電效應(yīng)或效應(yīng)，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無關(guān)。當(dāng)較外層的電子躍入內(nèi)層空穴所釋放的能量不在原子內(nèi)被吸收，而是以輻射形式放出，便產(chǎn)生X射線熒光，其能量等于兩能級之間的能量差。因此，X射線熒光的能量或波長是特征性的，與元素有一一對應(yīng)的關(guān)系。

　　高性能X射線熒光分析儀在日常使用中的注意事項(xiàng)：

　　1、高性能X射線熒光分析儀從根本上來說是一種相對測量儀器，因此在使用過程中，需要定期對儀器進(jìn)行標(biāo)定和校準(zhǔn)。

　　2、為有害元素含量的控制效果，高性能X射線熒光分析儀的測量數(shù)據(jù)應(yīng)與其他的測量手段結(jié)合起來使用；高性能X射線熒光分析儀更適合生產(chǎn)過程的監(jiān)控，甚至可以說：在生產(chǎn)過程中對有害元素含量的監(jiān)控，X射線熒光分析方法是目前可行的分析手段；而有害元素含量的終裁定，則不應(yīng)該僅僅依靠單一的測量手段。

　　3、被測量樣品的處理與測量精度的關(guān)系：

　　從X射線熒光分析理論上說，對被測量樣品進(jìn)行必要的處理是必須的；一般來說，樣品處理的越好，則測量精度就會越高，測量結(jié)果越可靠。在實(shí)際使用過程中，我們應(yīng)該盡量對被測量樣品進(jìn)行必要的物理處理。

　　在測量不規(guī)則的樣品時(shí)，雖然從X射線熒光分析方法上可以對測量進(jìn)行技術(shù)上的校正，從而滿足實(shí)際測量的需要；但這樣做所付出的代價(jià)是犧牲測量精度和測量數(shù)據(jù)的可靠性。